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单晶或半导体中的缺陷检测
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      现代社会的发展推动了半导体工业的发展,EPR波谱仪在控制半导体中的缺陷中起着至关重要的作用,如检测SiC中N掺杂的量,对原材料进行质量控制。

      Mn掺杂II-IV族化合物是典型的稀磁半导体(DMS)材料,掺杂离子影响材料的光、电性质。DMS的制备是通过常规半导体材料掺杂各种磁性或顺磁性粒子而得到的,其掺杂质量的高低直接影响材料的特性。如何判定掺杂结果与掺杂质量,可以很方便地利用ESR来检测和判定。

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